株式会社未来産業技術研究所
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周波数変換器(TURBOVAC MAG/ターボ分子ポンプ用)・Leybold Vacuum・(型式)MAG.DRIVE S
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
ヒュームフード(ドラフトチャンバー)ヤマト科学 M…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
電気マッフル炉 島津製作所 MP-15