株式会社未来産業技術研究所
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周波数変換器(TURBOVAC MAG/ターボ分子ポンプ用)・Leybold Vacuum・(型式)MAG.DRIVE S
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
RF電源 RF POWER PRODUCTS RF5S
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050