株式会社未来産業技術研究所
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周波数変換器(TURBOVAC MAG/ターボ分子ポンプ用)・Leybold Vacuum・(型式)MAG.DRIVE S
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7