半導体製造前工程

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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