半導体製造前工程

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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