加速寿命試験装置
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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