分割分包機

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年6月
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