モールド装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年4月
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