ホットプレート

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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