ベクトルスコープ

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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