ベクトルスコープ
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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デジタル内視鏡(ハンドヘルド産業用ボアスコープ)<…
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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