ベクトルスコープ

  1. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
2025年4月
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