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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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ロータリーポンプ アルバック製 D-950DK
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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