パルスヒート

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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