パルスヒート

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  5. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

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  9. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  2. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  3. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  4. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  5. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  6. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  9. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  10. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

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