ナノインデンタ―

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年9月
月 火 水 木 金 土 日
 123456
78910111213
14151617181920
21222324252627
282930