ナノインデンタ―

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. RF電源　RFPP　RF10S
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402
2026年7月
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