ナノインデンタ―

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
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