ディープフリーザー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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