ディープフリーザー

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年10月
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