セラミック電気管状炉

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年5月
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