セラミック電気管状炉

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年7月
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