セラミック電気管状炉

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年7月
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