セラミック電気管状炉

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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