スカラロボット

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  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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