スカラロボット

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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