スカラロボット

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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