アニール炉

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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