アニール炉

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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