電気掃除機

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年9月
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