超低温フリーザー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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