製作

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
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