製作

  1. スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH

  2. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  3. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…

  4. 恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114

  5. VOCセンサー 理研計器 VOC-121H

  6. エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…

  7. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  8. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  9. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  10. ヒーター式インキュベーター PHC MIR-H163-PJ

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置 日立製 E-1030

  2. 露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  5. 恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP

  6. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  7. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ テクトロニク…

  9. ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…

  10. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

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