製作

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年6月
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