表面分析装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
2026年10月
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