表面分析装置
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
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恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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RF電源 RF POWER PRODUCTS RF5S
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
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検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
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露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
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