表面分析装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年6月
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