膜厚計

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年6月
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