株式会社未来産業技術研究所
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レーザー変位計(セット品)センサー/コントローラーメーカー:キーエンス(KEYENCE)型式:LK-H050/LK-G5000高さ・厚み測…
反射分光膜厚計 多層膜測定装置 顕微膜厚計メーカー:大塚電子型式:FE-3000対応波長域:190nm~1600nm顕微を用いた微小領…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300