膜厚測定装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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