粗さ計

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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