粗さ計

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
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