粗さ計

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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