粗さ計

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年5月
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