粗さ計

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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