粗さ計

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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