粗さ計

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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