粗さ計

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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