粗さ計

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年1月
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