粗さ計

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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