粗さ計

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  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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