粗さ計

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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