粗さ計

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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