粗さ計

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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