粗さ計

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年1月
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