粗さ計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年5月
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