粗さ計

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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