粗さ計

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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