粗さ計

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年5月
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