粗さ計

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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