粗さ計

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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