粗さ計

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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