粗さ計

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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