粗さ計

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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