粗さ計
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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オートグラフ(精密万能試験機)島津製作所 AGS-X, …
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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