粗さ計

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
2026年6月
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