粗さ計

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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