粗さ計

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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