粗さ計

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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