粗さ計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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