粗さ計

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
2026年5月
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