粗さ計

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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