粗さ計

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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