粗さ計

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年11月
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