粗さ計

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年5月
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