粗さ計

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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