粗さ計

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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