粗さ計

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
2026年5月
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