粗さ計

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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