粗さ計

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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