粗さ計

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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