粗さ計

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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