粗さ計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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