粗さ計

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年5月
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