粗さ計

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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