粗さ計

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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