粗さ計

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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