粗さ計

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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