粗さ計

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年12月
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