粗さ計

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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