粗さ計

  1. ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E

  2. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  3. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  4. 高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…

  5. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  6. RF電源 RFPP RF20S

  7. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  8. ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…

  9. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  10. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  1. ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100

  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  3. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  4. ロータリポンプ エドワーズ E2M40

  5. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03

  7. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  8. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  9. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  10. パルスユニット アルバック A2KH-25

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