粗さ計

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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