粗さ計

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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