粒子径分布測定装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
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