粉体抵抗測定システム

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年10月
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