粉体抵抗測定システム

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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