波形モニター

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年6月
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