排水管検査システム

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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