排水管検査システム

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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