排水管検査システム

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402
2026年6月
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