排水管検査システム

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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