排水管検査システム

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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