排水管検査システム

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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