排水管検査システム

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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