排水管検査システム

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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