排水管検査システム

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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