排水管検査システム
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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