排水管検査システム

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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