排水管検査システム

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
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