排水管検査システム

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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