排水管検査システム

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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