排水管検査システム

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年6月
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