成分分析

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年6月
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