成分分析

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年10月
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