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恒温油槽
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Thickness Monitor 日本電子製(JOEL)<br>型式:FC-TM10
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X線回折装置 リガク製<br>型式:RINT-Ultima3 (M200623A01)
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マニュアルワイヤーボンダー K&S製<br>型式:4124 (M210320A14)
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式:YP21-T07 (M21…
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ターボ分子ポンプ ライボルト製(Leybold)<br>型式:TW70H (M200…
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マスクアライナー(露光装置) ミカサ製<br>型式:MA-10 (M210408…
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ゲートバルブ VAT製<br>Φ235 (M200714A07)
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phメーター(水質計) 堀場ホリバ製(HORIBA)<br>型式:D-55 (M2007…
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チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化機械)<br>型式:CA-111…
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ドラフトチャンバー ダルトン製<br>型式:DFV-12DK-12AAT
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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オイルバス(恒温油槽)トーマス科学製<br>型式:T-300
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)