形態観察

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年6月
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