形態観察

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年9月
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