安定性試験機

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
2024年12月
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