半導体製造前工程

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年6月
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