半導体製造前工程

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年6月
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