内視鏡カメラ

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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