内視鏡カメラ

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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