内視鏡カメラ

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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