株式会社未来産業技術研究所
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パルスジェネレーター PULSE GENERATORメーカー:岩崎通信機 Iwtsu 型式:PG-230排気速度:800 L/s 到達圧力:10-9 Paフ…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
恒温恒湿槽 ナガノサイエンス NST-S800
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
プラズマクリーナー サムコ PC-300
卓上型クリーンブース アズワン ピュアスペースPS0…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
プラズマ処理装置 神港精機 POEM