信号発生器
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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