信号発生器

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年6月
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