低温水槽

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
2026年10月
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