ロジックアナライザ

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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