ロジックアナライザ

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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