ロジックアナライザ

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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