ロジックアナライザ

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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