ロジックアナライザ

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年9月
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