ロジックアナライザ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年5月
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