ロジックアナライザ

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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