ロジックアナライザ

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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