ロジックアナライザ

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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