ロジックアナライザ

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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