ロジックアナライザ

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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