ロジックアナライザ

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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