ロジックアナライザ

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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