ロジックアナライザ

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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