ロジックアナライザ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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