ロジックアナライザ

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  2. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  3. スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ

  4. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  5. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  6. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  7. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  8. ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…

  9. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…

  1. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  2. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600

  3. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  4. ロータリポンプ エドワーズ E2M40

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  6. 卓上型クリーンブース アズワン ピュアスペースPS0…

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  9. 電気マッフル炉 島津製作所 MP-15

  10. RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW

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