ロジックアナライザ

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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