ロジックアナライザ

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年2月
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