ロジックアナライザ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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