ロジックアナライザ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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