ロジックアナライザ

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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