ロジックアナライザ

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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