ロジックアナライザ

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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