ロジックアナライザ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年2月
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