ロジックアナライザ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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