ロジックアナライザ
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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