ロジックアナライザ

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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