ロジックアナライザ

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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