ロジックアナライザ

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
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