ロジックアナライザ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年11月
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