ロジックアナライザ

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年6月
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