モールド装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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