ポッティング

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年9月
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