ピエゾステージ

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年10月
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