ピエゾステージ

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年7月
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