ピエゾステージ

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  3. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年1月
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