ピエゾステージ

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
2026年6月
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