ヒュームフード

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  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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