ヒュームフード

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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