ヒュームフード

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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