ヒュームフード

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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