ヒュームフード

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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