ヒュームフード

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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