ヒュームフード

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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