ヒュームフード

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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