ヒュームフード

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年1月
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