ヒュームフード

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年2月
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