株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:湯山製作所 型式:YS-BA-702外寸法:W400×D430×H880mmHEPAフィルター採用 風速 0~0.5m3/min クリーン度 cl…
メーカー:日立 型式:SVC1308ECⅡA2滅菌処理済み外寸法:W1500×D780×H2030mm 内寸法:W1300×D600×H675mmHEPAフィルター採…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…