株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:湯山製作所 型式:YS-BA-702外寸法:W400×D430×H880mmHEPAフィルター採用 風速 0~0.5m3/min クリーン度 cl…
メーカー:日立 型式:SVC1308ECⅡA2滅菌処理済み外寸法:W1500×D780×H2030mm 内寸法:W1300×D600×H675mmHEPAフィルター採…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03