株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:湯山製作所 型式:YS-BA-702外寸法:W400×D430×H880mmHEPAフィルター採用 風速 0~0.5m3/min クリーン度 cl…
メーカー:日立 型式:SVC1308ECⅡA2滅菌処理済み外寸法:W1500×D780×H2030mm 内寸法:W1300×D600×H675mmHEPAフィルター採…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…