ヒュームフード

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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