ヒュームフード

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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