ヒュームフード

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031