ヒュームフード

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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