ヒュームフード

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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