ヒュームフード

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031