ヒュームフード

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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