ヒュームフード

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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