ヒュームフード

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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