ヒュームフード

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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