ヒュームフード

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031