ヒュームフード

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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