ヒュームフード

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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