ヒュームフード

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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