ヒュームフード

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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