ヒュームフード

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  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

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  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

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  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
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