ヒュームフード

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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