ヒュームフード

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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