ヒュームフード

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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