ヒュームフード

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  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
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