ヒュームフード

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  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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