ヒュームフード

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  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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