ヒュームフード

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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