ヒュームフード

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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