ヒュームフード

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年1月
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