ヒュームフード

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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