ヒュームフード

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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