ヒュームフード

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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