ヒュームフード

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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