ヒュームフード

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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