ヒュームフード

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  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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