株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:湯山製作所 型式:YS-BA-702外寸法:W400×D430×H880mmHEPAフィルター採用 風速 0~0.5m3/min クリーン度 cl…
メーカー:日立 型式:SVC1308ECⅡA2滅菌処理済み外寸法:W1500×D780×H2030mm 内寸法:W1300×D600×H675mmHEPAフィルター採…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…