ヒュームフード

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年3月
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