ヒュームフード

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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