ヒュームフード

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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