ヒュームフード

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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