ヒュームフード

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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