ヒュームフード

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年2月
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