ヒュームフード

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

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  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

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  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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