ヒュームフード

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年2月
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