ヒュームフード

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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