ヒュームフード

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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