ヒュームフード

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  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

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  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

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  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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