株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:湯山製作所 型式:YS-BA-702外寸法:W400×D430×H880mmHEPAフィルター採用 風速 0~0.5m3/min クリーン度 cl…
メーカー:日立 型式:SVC1308ECⅡA2滅菌処理済み外寸法:W1500×D780×H2030mm 内寸法:W1300×D600×H675mmHEPAフィルター採…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …