ヒュームフード

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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