ヒュームフード

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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