株式会社未来産業技術研究所
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パルスユニット DC電源 パルス出力 プラズマ発生電源メーカー:ulvac(アルバック) 型式:A2KH-25発振周波数:1k~20kHz…
パルスジェネレーター PULSE GENERATORメーカー:岩崎通信機 Iwtsu 型式:PG-230排気速度:800 L/s 到達圧力:10-9 Paフ…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
パルスユニット アルバック A2KH-25
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…