株式会社未来産業技術研究所
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パルスユニット DC電源 パルス出力 プラズマ発生電源メーカー:ulvac(アルバック) 型式:A2KH-25発振周波数:1k~20kHz…
パルスジェネレーター PULSE GENERATORメーカー:岩崎通信機 Iwtsu 型式:PG-230排気速度:800 L/s 到達圧力:10-9 Paフ…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
RF電源 RFPP RF20S
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
熱プレス機 TSK月島プラスチック Lodestar20t
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
RF電源 RFPP RF10S