パルスジェネレータ

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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