バキュームオーブン

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年6月
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