バキュームオーブン

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 恒温槽　エスペック　PH-402

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年10月
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