ナノインデンター

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年10月
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