ナノインデンター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年6月
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