ナノインデンタ―

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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