ナノインデンタ―

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年6月
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