ナノインデンタ―

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年5月
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