ナノインデンタ―

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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