ナノインデンタ―

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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