ナノインデンタ―

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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