ナノインデンタ―

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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