ナノインデンタ―

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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