ナノインデンタ―

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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