ナノインデンタ―

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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