ナノインデンタ―

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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