ナノインデンタ―

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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