ナノインデンタ―

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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