ナノインデンタ―

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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