ナノインデンタ―

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  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

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  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

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  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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