ナノインデンタ―

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年2月
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