ナノインデンタ―

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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