ナノインデンタ―

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
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