ナノインデンタ―

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年5月
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