ナノインデンタ―

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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