ナノインデンタ―

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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