ナノインデンタ―

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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