ナノインデンタ―

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  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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