ナノインデンタ―
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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