ナノインデンタ―

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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