ナノインデンタ―

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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