ナノインデンタ―

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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