ナノインデンタ―

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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