ナノインデンタ―

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年6月
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