ナノインデンタ―

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年1月
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