ナノインデンタ―

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
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