ナノインデンタ―

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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