ナノインデンタ―

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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