ナノインデンタ―

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年11月
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