ナノインデンタ―

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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