ナノインデンタ―

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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