ナノインデンタ―

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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