ナノインデンタ―

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  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

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  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

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  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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