ナノインデンタ―

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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