ナノインデンタ―

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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