ナノインデンタ―

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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