ナノインデンタ―

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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