ナノインデンタ―

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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