ナノインデンタ―

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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