ナノインデンタ―

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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