ナノインデンタ―

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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