ナノインデンタ―

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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