ナノインデンタ―

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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