ナノインデンタ―

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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