ナノインデンタ―

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
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