ナノインデンタ―

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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