ナノインデンタ―

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年1月
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