ナノインデンタ―

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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