ナノインデンタ―

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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