ナノインデンタ―

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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