ナノインデンタ―

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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