ナノインデンタ―

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  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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