ナノインデンタ―

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年6月
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