ナノインデンタ―

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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