ナノインデンタ―

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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