ナノインデンタ―

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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