ナノインデンタ―

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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