ナノインデンタ―

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年5月
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