ナノインデンタ―
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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