ナノインデンタ―

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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