ナノインデンタ―

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  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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