ナノインデンタ―

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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