ナノインデンタ―

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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