ナノインデンタ―

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930