ナノインデンタ―
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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