ナノインデンタ―

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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