ナノインデンタ―

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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