ナノインデンタ―

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
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