ナノインデンタ―

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  3. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

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  5. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  6. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

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  8. ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …

  9. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  1. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  2. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  3. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  4. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  5. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  6. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

2026年2月
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