ナノインデンタ―

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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