ナノインデンタ―

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年3月
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