ナノインデンタ―

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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