ナノインデンタ―

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年1月
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