ナノインデンタ―

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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