ナノインデンタ―
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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