ナノインデンタ―

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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