ナノインデンタ―

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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