ナノインデンタ―

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年1月
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