ナノインデンタ―

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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