ナノインデンタ―
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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