ナノインデンタ―

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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