ナノインデンタ―

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年5月
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