ナノインデンタ―

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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