ナノインデンタ―

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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