ナノインデンタ―

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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