ナノインデンタ―

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930