ナノインデンタ―

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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