ナノインデンタ―

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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