ナノインデンタ―

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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