ナノインデンタ―

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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