ナノインデンタ―

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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