ナノインデンタ―

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  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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