ナノインデンタ―

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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