デジタルエレクトロメータ

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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