スカラロボット

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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