スカラロボット

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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