スカラロボット

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年1月
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