スカラロボット

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  3. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  4. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

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  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  2. チラー(外部開放系循環装置)・ヤマト科学・品名:クールライン・型式:CLH610

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  3. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  4. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  5. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  8. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  10. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

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