スカラロボット

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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