スカラロボット

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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