スカラロボット

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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