スカラロボット

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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