スカラロボット

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年5月
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