スカラロボット

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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