スカラロボット

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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