スカラロボット

  1. ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …

  2. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  3. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  4. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…

  6. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  7. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  8. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  9. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  10. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  1. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  2. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  7. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  8. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

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