スカラロボット

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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