スカラロボット

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年5月
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