スカラロボット

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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