スカラロボット

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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