スカラロボット

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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