スカラロボット

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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