スカラロボット

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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