スカラロボット

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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