スカラロボット

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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