スカラロボット

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年11月
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