スカラロボット

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年5月
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