スカラロボット

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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