スカラロボット

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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