スカラロボット

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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