スカラロボット

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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