スカラロボット

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年6月
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