スカラロボット

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  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

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  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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