スカラロボット

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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