スカラロボット

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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