スカラロボット

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年1月
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