スカラロボット

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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