スカラロボット

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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