スカラロボット

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年5月
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