スカラロボット

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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