スカラロボット

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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