スカラロボット

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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