スカラロボット

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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