スカラロボット

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年5月
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