スカラロボット

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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