スカラロボット

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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