スカラロボット

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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