スカラロボット

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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