スカラロボット

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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