スカラロボット

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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