スカラロボット

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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