スカラロボット

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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