スカラロボット

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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