スカラロボット

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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