スカラロボット

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年12月
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