スカラロボット

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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