スカラロボット

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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