スカラロボット

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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