スカラロボット

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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