スカラロボット

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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