スカラロボット

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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