スカラロボット

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年6月
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