スカラロボット

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 恒温槽　エスペック　PH-402

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年6月
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