スカラロボット

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年5月
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