スカラロボット

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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