カーブトレーサー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年7月
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