エアーシャワー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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