エアーシャワー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年11月
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