エアーシャワー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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