エアーシャワー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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