エアーシャワー

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    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
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