エアーシャワー

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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