エアーシャワー

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
2026年6月
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