エアーシャワー

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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