エアーシャワー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年1月
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