エアーシャワー

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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