エアーシャワー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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