エアーシャワー

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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