エアーシャワー

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年3月
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