エアーシャワー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年4月
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