エアーシャワー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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