エアーシャワー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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