エアーシャワー

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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