エアーシャワー

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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