エアーシャワー

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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