エアーシャワー

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2025年12月
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