エアーシャワー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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