エアーシャワー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年11月
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