エアーシャワー

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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