エアーシャワー

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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