エアーシャワー

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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