エアーシャワー

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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