エアーシャワー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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