エアーシャワー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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