エアーシャワー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年2月
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