エアーシャワー

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  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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