エアーシャワー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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