エアーシャワー

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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