エアーシャワー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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