エアーシャワー

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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