エアーシャワー

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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