エアーシャワー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年11月
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