エアーシャワー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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