エアーシャワー

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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