エアーシャワー

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  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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