エアーシャワー

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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