エアーシャワー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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