エアーシャワー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年11月
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