エアーシャワー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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