エアーシャワー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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