エアーシャワー

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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