エアーシャワー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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