エアーシャワー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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