エアーシャワー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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