エアーシャワー

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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