エアーシャワー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年2月
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