エアーシャワー

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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