エアーシャワー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年6月
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