エアーシャワー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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