エアーシャワー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
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