エアーシャワー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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