エアーシャワー

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  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
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