エアーシャワー

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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