エアーシャワー

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年5月
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