エアーシャワー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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