エアーシャワー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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