エアーシャワー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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