エアーシャワー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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