エアーシャワー

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. ダイサー　ディスコ　DAD522

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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