エアーシャワー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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