エアーシャワー

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  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

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  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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