エアーシャワー

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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