エアーシャワー

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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