エアーシャワー

  1. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…

  3. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  7. スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…

  8. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  9. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  1. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  2. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  3. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  4. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  5. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  6. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  8. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  9. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

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