エアーシャワー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2025年12月
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