エアーシャワー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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