エアーシャワー

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年3月
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