エアーシャワー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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