エアーシャワー

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年6月
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