エアーシャワー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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