エアーシャワー

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年1月
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