エアーシャワー
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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