エアーシャワー

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  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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