エアーシャワー

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
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