エアーシャワー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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