エアーシャワー

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  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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