エアーシャワー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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