エアーシャワー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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