エアーシャワー

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  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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