エアーシャワー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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