ウェーブフォームモニター

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  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年9月
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