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  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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