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    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

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  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
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